Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena, Vol.13 No.1, 1995/01

Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena, Vol.13 No.1, 1995/01

New York : American Institute of Physics, 1991-

巻号タイトル

この資料には他にも巻号があります。

他の巻号を見る

巻号情報

Vol.13 No.1 1995/01
No. 所在 請求記号 資料ID 受入/製本日 製本状態 状況（返却予定日） 予約・取り寄せ人数

1

中央

1995/03/10

製本済

詳細情報

創刊・終刊

Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-

形態

v. : ill. ; 29 cm

継続前誌名

Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

出版国

アメリカ合衆国

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

刊行頻度

隔月刊

ISSN

10711023/0734211X

NCID

AA10804928

番号

CODEN : JVTBD9

Links

CiNii Booksで他館の所蔵を見る

メールで送信

宛先

件名

ブックマークに登録

リストを選択

指定なし

メモ

ブックマークを編集

リストを選択

メモ

リストを選択