ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ

東京 : エヌ・ティー・エス, 2013.6

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-P84

10013014193

一般図書

詳細情報

刊年

2013

形態

2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm

別書名

ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果

注記

文献: 各節末

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

ISBN

9784864690591

NCID

BB12654468