シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法

シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法

シリコン ケッショウ エノ カイメン ナノ コウゾウ オ リヨウシタ フジュンブツ ドーピングホウ

村田晃一 [著]

[つくば] : [村田晃一], [2013]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA06420-2012

10013008257

本学論文

詳細情報

刊年

2013

形態

144p ; 30cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成25年3月25日授与 (甲第6420号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

村田, 晃一 (ムラタ, コウイチ)

分類

CAL:DA06420