EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
豊田浩一, 岡崎信次監修
普及版
東京 : シーエムシー出版, 2013.3
図書等| No. | 所在 | 請求記号 | 資料ID | 資料タイプ | 状況（返却予定日） | コレクション | 備考 | 予約・取り寄せ人数 |
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1 |
549.95-E11
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10013007696 |
一般図書 |
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2013
vi, 273p : 挿図 ; 26cm
Development and application of extreme ultraviolet light source
CMCテクニカルライブラリー ; 450 [エレクトロニクスシリーズ]
「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
文献: 各章末
日本
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
NDC8:549.95
NDC9:549.95
9784781307091
BB12085089
TRC : 13011452
