スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ

金原粲著

東京 : 東京大学出版会, 1984.3

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況（返却予定日） コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1
431.86-Ki41

10013000891

一般図書

2
431.86-Ki41

10084000377

一般図書

詳細情報

刊年

1984

形態

ix, 231p ; 22cm

注記

各章末: 参考文献

一般的参考書: p226

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

金原, 粲(1933-) (キンバラ, アキラ)

分類

NDC8:549

NDLC:ND371

NDC9:549.8

件名

薄膜

ISBN

4130610473

NCID

BN00164488

番号

NBN : JP84042324

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