ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
東京 : コロナ社, 2012.9
図書等| No. | 所在 | 請求記号 | 資料ID | 資料タイプ | 状況（返却予定日） | コレクション | 備考 | 予約・取り寄せ人数 |
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1 |
549.8-Ko73
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10012017406 |
一般図書 |
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2012
vii, 227p : 挿図 ; 21cm
Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
半導体MEMSのための超臨海流体
その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
引用・参考文献: p[212]-222
日本
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
近藤, 英一 (コンドウ, エイイチ)
上野, 和良 (ウエノ, カズヨシ)
内田, 寛 (ウチダ, ヒロシ)
曽根, 正人 (ソネ, マサト)
生津, 英夫 (ナマツ, ヒデオ)
服部, 毅 (ハットリ, タケシ)
堀, 照夫 (ホリ, テルオ)
森口, 誠 (モリグチ, マコト)
NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDC9:431.8
NDC9:431.3
NDLC:PA51
9784339008371
BB10243699
NBN : JP22143919
TRC : 12045470
