ArF露光技術に適用する微細加工用材料の開発

ArF露光技術に適用する微細加工用材料の開発

ArF ロコウ ギジュツ ニ テキヨウ スル ビサイ カコウヨウ ザイリョウ ノ カイハツ

野崎耕司 [著]

[つくば] : [野崎耕司], [2012]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA06031-2011

10012000116

本学論文

詳細情報

刊年

2012

形態

112枚 ; 31cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成24年3月23日授与 (甲第6031号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

野崎, 耕司 (ノザキ, コウジ)

分類

CAL:DA06031