パワーデバイスに向けた堆積シリコン酸化膜の改質と熱シリコン酸化膜の高温信頼性

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パワー デバイス ニ ムケタ タイセキ シリコン サンカマク ノ カイシツ ト ネツシリコン サンカマク ノ コウオン シンライセイ

染谷満 [著]

[つくば] : [染谷満], [2011]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA05635-2010

10011000391

本学論文

詳細情報

刊年

2011

形態

75枚 ; 31cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成23年3月25日授与 (甲第5635号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

染谷, 満 (ソメタニ, ミツル)

分類

CAL:DA05635