低加速電圧走査型電子顕微鏡法による無機薄膜観察と像形成原理の研究

低加速電圧走査型電子顕微鏡法による無機薄膜観察と像形成原理の研究

テイカソク デンアツ ソウサガタ デンシ ケンビキョウホウ ニヨル ムキ ハクマク カンサツ ト ゾウ ケイセイ ゲンリ ノ ケンキュウ

熊谷和博 [著]

[つくば] : [熊谷和博], [2010]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA05303-2009

10010003826

本学論文

詳細情報

刊年

2010

形態

iv, 122p : 挿図 ; 31cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成22年3月25日授与 (甲第5303号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

熊谷, 和博 (クマガイ, カズヒロ)

分類

CAL:DA05303