CZシリコンの欠陥制御と室温における不純物の挙動に関する研究

CZシリコンの欠陥制御と室温における不純物の挙動に関する研究

CZ シリコン ノ ケッカン セイギョ ト シツオン ニオケル フジュンブツ ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ

竹田隆二 [著]

[つくば] : [竹田隆二], [2010]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA05287-2009

10010003818

本学論文

詳細情報

刊年

2010

形態

103p : 挿図 ; 30cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成22年3月25日授与 (甲第5287号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

竹田, 隆二 (タケダ, リュウジ)

分類

CAL:DA05287