Electrical, optical and structural characterization of extended defects in 4H-SiC films and multicrystalline Si

Electrical, optical and structural characterization of extended defects in 4H-SiC films and multicrystalline Si

Bin Chen

[Tsukuba] : [Chen, Bin], [2009]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA05169-2009

10010003834

本学論文

詳細情報

刊年

2009

形態

vii, 116 p. : ill. (some col.) ; 31 cm

注記

Thesis (Ph. D. in Engineering)--University of Tsukuba, (A), no. 5169, 2009.7.24

Includes bibliographical references

出版国

日本

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Chen, Bin

分類

CAL:DA05169