プラズマ/プロセスの原理

プラズマ/プロセスの原理

プラズマ プロセス ノ ゲンリ

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳

第2版

東京 : 丸善, 2010.1

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

427.6-L62

10009025706

一般図書

詳細情報

刊年

2010

形態

xxix, 612p : 挿図 ; 26cm

別書名

Principles of plasma discharges and materials processing

注記

監修: 堀勝

参考文献: p[591]-604

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

原作言語

英語 (eng)

著者情報

Lieberman, M. A. (Michael A.) [ Lieberman, Michael A. ]

Lichtenberg, Allan J [ Lichtenberg, A. J. (Allan J.) ]

佐藤, 久明 (サトウ, ヒサアキ)

堀, 勝(1958-) (ホリ, マサル)

分類

NDC8:427.6

NDC9:427.6

件名

プラズマ物理学

ISBN

9784621082232

NCID

BB00985264

番号

TRC : 10006683