高集積化LSIにおける高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

高集積化LSIにおける高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

コウシュウセキカ LSI ニオケル コウユウドウリツ ゲート ゼツエンマク ニ カンスル ケンキュウ

佐藤基之 [著]

[つくば] : [佐藤基之], [2007]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA04606-2007

10008002647

本学論文

詳細情報

刊年

2007

形態

128p : 挿図 ; 31cm

別書名

VT:高集積化LSIにおける高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成20年3月25日授与 (甲第4606号)

付: 参考文献

表紙・背に「2008年2月」と記載あり

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

佐藤, 基之 (サトウ, モトユキ)

分類

CAL:DA04606

NDC9:549.8