ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ

秩父重英研究代表

[つくば] : [秩父重英], 2007.5

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-C42

10007003935

本学

詳細情報

刊年

2007

形態

1冊 : 挿図 ; 30cm

シリーズ名

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 ; 平成16年度-平成18年度

注記

研究課題番号: 16360146

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn) ; 英語 (eng)

著者情報

秩父, 重英 (チチブ, シゲフサ)

NCID

BA8264703X

番号

KAKEN : 16360146