製造プロセス編

製造プロセス編

セイゾウ プロセスヘン

角南英夫著

東京 : コロナ社, 2006.8

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.7-D59

10006007951

一般図書

詳細情報

刊年

2006

形態

xii, 189p ; 26cm

別書名

VLSI technology : fabrication processes

シリーズ名

電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 [VLSI工学]

注記

引用・参考文献: p[177]-186

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

電子情報通信学会 (デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ) [ 電子通信学会 (デンシ ツウシン ガッカイ) ] [ 電信電話學會 (デンシン デンワ ガッカイ) ] [ 電気通信学会 (デンキ ツウシン ガッカイ) ] [ Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (Japan) ] [ IEICE ] [ Denshi Jōhō tsūshin gakkai (Japan) ] [ Densi Zyôhô Tûsin Gakkai ]

角南, 英夫 (スナミ, ヒデオ)

分類

NDC9:549.7

件名

集積回路

ISBN

4339018872

NCID

BA81206403