クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
山田公編著
東京 : 日刊工業新聞社, 2006.10
図書等| No. | 所在 | 請求記号 | 資料ID | 資料タイプ | 状況（返却予定日） | コレクション | 備考 | 予約・取り寄せ人数 |
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1 |
549.1-Y19
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10006014919 |
一般図書 |
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2006
xi, 223p ; 21cm
Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
日本
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
山田, 公 (ヤマダ, イサオ) [ Yamada, I. (Isao) ]
NDC8:549.1
NDC9:549.1
4526057657
BA79102802
TRC : 06054237
