酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

サンカブツ ハクマク ニオケル サンソ ケッソン ト デンキテキ トクセイ ノ カンレンセイ ヒョウカ ト マクシツ カイゼン

山部紀久夫研究代表

[つくば] : [山部紀久夫], 2006.5

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-Y18

10006003685

本学

詳細情報

刊年

2006

形態

1冊 ; 30cm

シリーズ名

科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 ; 平成16度-17年度

注記

課題番号: 16360016

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn) ; 英語 (eng)

著者情報

山部, 紀久夫 (ヤマベ, キクオ)

NCID

BA77576646

番号

KAKEN : 16360016