Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製

Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

宮崎修一研究代表

[つくば] : [宮崎修一], 2006.3

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

548.3-Mi88

10006003626

本学

詳細情報

刊年

2006

形態

1冊 ; 30cm

シリーズ名

科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 ; 平成14年度-平成16年度

注記

課題番号: 14205099

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn) ; 英語 (eng)

著者情報

宮崎, 修一(1950-) (ミヤザキ, シュウイチ) [ Miyazaki, S. ] [ Miyazaki, Shuichi ]

NCID

BA77548800

番号

KAKEN : 14205099