The physics of micro/nano-fabrication

The physics of micro/nano-fabrication

Ivor Brodie and Julius J. Muray

New York : Plenum Press, c1992

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549-B75

10005023427

一般図書

詳細情報

刊年

1992

形態

xix, 650 p. : ill. ; 26 cm

シリーズ名

Microdevices : physics and fabrication technologies

注記

Includes bibliographical references and indexes

出版国

アメリカ合衆国

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Brodie, Ivor

Muray, Julius J.

分類

LCC:TK7874

DC20:621.381

件名

Microelectronics

Thin-film circuits

ISBN

0306441462

NCID

BA1990816X

番号

LCCN : 92028941