薄膜作成の基礎

薄膜作成の基礎

ハクマク サクセイ ノ キソ

麻蒔立男著

第4版

東京 : 日刊工業新聞社, 2005.7

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549-A86

10005009916

一般図書

詳細情報

刊年

2005

形態

xiii, 352p ; 21cm

注記

参考文献: 各章末

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

麻蒔, 立男(1934-) (アサマキ, タツオ)

分類

NDC8:549.8

NDC9:549.8

件名

薄膜

真空技術

ISBN

4526055034

NCID

BA72997104

番号

TRC : 05037726