プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

プラズマ プロセス ニヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ

市村博司, 池永勝著

東京 : 日刊工業新聞社, 2005.2

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-I15

10004027988

一般図書

詳細情報

刊年

2005

形態

ix, 276p : 挿図 ; 21cm

別書名

Thin films

プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

注記

参考文献: 各章末

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

市村, 博司 (イチムラ, ヒロシ)

池永, 勝 (イケナガ, マサル)

ISBN

4526054208

NCID

BA71274597