レジスト材料

レジスト材料

レジスト ザイリョウ

伊藤洋著 ; 高分子学会編集

東京 : 共立出版, 2005.2

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.7-I89

10004024247

一般図書

詳細情報

刊年

2005

形態

iv, 104p : 挿図 ; 19cm

シリーズ名

高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

伊藤, 洋(1946-) (イトウ, ヒロシ)

高分子学会 (コウブンシ ガッカイ) [ 高分子学会 (コウブンシ ガクカイ) ] [ Society of Polymer Science (Japan) ] [ 高分子化学協会 (コウブンシ カガク キョウカイ) ]

分類

NDC8:549.7

NDC9:549.7

件名

リソグラフィー

感光性樹脂

ISBN

4320043723

NCID

BA70954224

番号

TRC : 05005581