Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用

Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用

Ti Ni Pd ケイジョウ キオク スパッタ ハクマク ノ カイハツ ト マイクロ アクチュエータ エノ オウヨウ

奥津和俊 [著]

[つくば] : [奥津和俊], [2004]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA03403-2003

10004010807

本学論文

詳細情報

刊年

2004

形態

125枚 ; 31cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成16年3月25日授与 (甲第3403号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

奥津, 和俊 (オクツ, カズトシ)

分類

CAL:DA03403