シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法

シリコン単結晶表面の原子ステップ/テラス構造形成と平坦性の量的評価法

シリコン タンケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ ステップ テラス コウゾウ ケイセイ ト ヘイタンセイ ノ リョウテキ ヒョウカホウ

北條大介 [著]

[つくば] : [北條大介], [2003]

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

DA03274-2003

10004010752

本学論文

詳細情報

刊年

2003

形態

77枚 ; 31cm

注記

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成15年7月25日授与 (甲第3274号)

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

北條, 大介 (ホウジョウ, ダイスケ)

分類

CAL:DA03274