シリコン熱酸化の界面素過程に関する理論的研究

シリコン熱酸化の界面素過程に関する理論的研究

シリコン ネツサンカ ノ カイメン ソカテイ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ

白石賢二研究代表者

[つくば] : 白石賢二, 2004.5

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-Sh82

10004007817

本学

詳細情報

刊年

2004

形態

1冊 ; 30cm

並列書名

Theoretical studies on the basic processes of Si Thermal Oxydation

シリーズ名

科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成14-15年度

注記

研究課題番号: 14550020

研究代表者: 白石賢二

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn) ; 英語 (eng)

著者情報

白石, 賢二 (シライシ, ケンジ)

NCID

BA68545470

番号

KAKEN : 14550020