極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ ノ シキイチ デンアツ バラツキ カイセキ ノ タメノ リサン フジュンブツ モデル ノ コウチク

佐野伸行研究代表者

[つくば] : 佐野伸行, 2004.3

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.8-Sa66

10004007819

本学

詳細情報

刊年

2004

形態

iii, 122p ; 30cm

別書名

極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

シリーズ名

科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成14-15年度

注記

研究課題番号: 14550315

研究代表者: 佐野伸行

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

佐野, 伸行(1959-) (サノ, ノブユキ)

NCID

BA68541673

番号

KAKEN : 14550315