マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
吉村長光著
東京 : エヌ・ティー・エス, 2003.12
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1
10004007518
一般図書
2
10006001942
2003
6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
日本
日本語 (jpn)
吉村, 長光 (ヨシムラ, ナガミツ)
NDLC:NB126
NDC9:534.93
真空技術
電子線
真空工学
4860430395
BA6508397X
NBN : JP20541217
TRC : 04002221
真空技術電子線真空工学
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