マイクロ波プラズマの技術

マイクロ波プラズマの技術

マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ

電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編

東京 : オーム社, 2003.9

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

427.6-D58

10003010426

一般図書

詳細情報

刊年

2003

形態

xi, 257p ; 22cm

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会 (デンキ ガッカイ マイクロハ プラズマ チヨウサ センモン イインカイ)

分類

NDC8:427.6

NDC9:427.6

件名

プラズマ

マイクロ波

ISBN

4274197107

NCID

BA63829266

番号

TRC : 03048100