マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ

藤田博之著

東京 : 工業調査会, 2003.8

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

530-F67

10003007573

一般図書

詳細情報

刊年

2003

形態

232p ; 21cm

出版国

日本

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

藤田, 博之(1952-) (フジタ, ヒロユキ) [ Fujita, Hiroyuki ]

分類

NDC8:530

NDC9:530

件名

マイクロマシン

ISBN

4769371179

NCID

BA6332701X

番号

TRC : 03040770