Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

editors David G. Seiler ... [et al.]

New York : American Institute of Physics, c2001

図書等

巻号情報

No. 所在 請求記号 資料ID 資料タイプ 状況(返却予定日) コレクション 備考 予約・取り寄せ人数

1

549.7-Se17

10003303148

一般図書

詳細情報

刊年

2001

形態

xv, 708 p. : ill. ; 28 cm + 1 computer laser optical disk

シリーズ名

AIP conference proceedings ; 550

注記

Includes bibliographical references and index

出版国

アメリカ合衆国

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Seiler, David G.

ISBN

156396967X

ISSN

0094243X

NCID

BA52082125